蚀刻工艺基本知识?
蚀刻是一种通过化学或物理方式将材料表面的一部分刻蚀掉的加工工艺。在蚀刻过程中,利用液体或气体中的化学物质或物理作用来对被加工材料进行局部刻蚀,从而达到制造各种形状和结构的目的。蚀刻技术广泛应用于电路板、模具、芯片、微机电系统等领域。
以下是蚀刻工艺的一些基本知识:
1.蚀刻工艺分类:按照材料加工方式的不同,蚀刻工艺可以分为湿蚀刻和干蚀刻两种。湿蚀刻是指在液体溶液中进行的刻蚀,而干蚀刻则是在气体环境中进行的刻蚀。
2.蚀刻液:蚀刻液是蚀刻工艺中非常重要的一部分,不同的蚀刻液可以对不同材料进行刻蚀。常用的蚀刻液包括氢氟酸、硝酸、氯化铁等。
3.刻蚀机:蚀刻机是进行蚀刻工艺的主要设备。常见的蚀刻机包括湿蚀刻机、干蚀刻机、光刻机等。
4.蚀刻模板:蚀刻模板是蚀刻工艺中用来制造所需结构的模具。常见的蚀刻模板材料包括玻璃、金属、石英等。
5.蚀刻图形:蚀刻图形是蚀刻工艺中要制作的结构形状。蚀刻图形需要经过CAD设计和光刻等工序进行制作。
延伸阅读
蚀刻工艺的具体过程是什么?
蚀刻也称光化学蚀刻(photochemical etching),指通过曝光制版、显影后,将要蚀刻区域的保护膜去除,在蚀刻时接触化学溶液,达到溶解腐蚀的作用,形成凹凸或者镂空成型的效果。
工艺流程
1、来料检验当接到客户需要加工的工件时,首先我们要经过检查,也就是我们目前IQC工序所要做的工作,把接到客户的加工工件抹干净,然X行仔细检验,把来料中存在的不良品剔除出来,保证投入的产品是良品。
2、静电除尘、喷感光油、检查当来料加工的工件经过IQC检验合格后,就交给下一道工序:喷感光油,但在喷感光油前一定要进行静电除尘,因为产品在生产过程和我们抹试的过程中,不同程度上会存在静电,而静电是可以吸付灰尘的,所以必须经过静电除尘,把静电去除后灰尘才不会吸付在产品上面,完成静电除后就进行下一步工作:喷感光油,喷感受光油的作用主要是为下一道工序感光(爆光)做好准备,将产品前后都喷上感光油,完成喷油工作后,必须对产品进行仔细检查,检查的目的是产品在喷油过程中有没有喷到油、有没有存留油渣等不良现象出现,当产品检查OK后就要流入下一个工序:感光(爆光)。
3、感光、显影 感光(爆光)是将菲林放在已经喷了感光油的产品上面,主要的目的是通过爆光让菲林上的图案在产品上形成,感光(爆光)过程中要特别注意夹具一定要放好,菲林不能歪斜,否则产品图案就会出现歪斜现象,从而产生不良品,而菲林也要定期检查,不能出现折叠现象,否则也会出现不良品。感光(爆光)完成后就要进行下一步工作:显影;显影的目的是通过显影药水将未爆光的地方冲走,经过爆光的地方固化,形成蚀刻图案,经过显影后质检员对产品进行检查,把显影不到的地方或图案不良的产品挑选出来,良品则进入下一道工序:封油。
4、封油 所谓封油就是将产品在喷油过程中产品边缘的位置、喷不到油的地方进行人工补油,补油过程中产品的金属部位不可有外露现象,否则经过蚀刻后将会产生不良品,补油完成后再对产品进行烘干,烘干完成后对产品进行检查,检查OK后才可以放入下一道工序:蚀刻。
5、蚀刻、清洗 蚀刻是整个生产流程的关键工序,主要是将产品通过化学溶液的化学作用将产品经过爆光显影后外露的不锈钢部位进行腐蚀,从而形成我们想要的图案,蚀刻工作完成后对产品进行清洗,将多余的油漆清洗掉,然后经过慢拉机等的清洗设备完成产品的加工过程。
6、出货检验 经过蚀刻清洗工序完成后的产品即是我们想要的产品,但还要进行FQC最终检验,将生产过程中的不良品剔除出来后才可以交成品仓库安排出货。
金属蚀刻主要工艺流程是什么?
蚀刻
蚀刻制程是将电路布局移转到芯片上之关键步骤,包括蚀刻及蚀刻后清洗两部份,本所现阶段以多层导线所需之蚀刻及清洗技术为重点。蚀刻技术开发已完成符合0.15微米世代制程规格之0.2微米接触窗蚀刻技术以及符合0.18微米世代制程规格(线宽/间距=0.22微米/0.23微米)之铝导线蚀刻技术;同时完成光阻硬化技术,可提高光阻抗蚀刻性10%~20%;目前之技术重点在于双嵌入结构蚀刻技术及低介电常数材料蚀刻技术,以搭配铜导线制程达成低电阻、低电容之目标。蚀刻后清洗技术开发已建立基本之氧化层及金属层蚀刻后清洗能力,目前之技术重点在双嵌入结构蚀刻后清洗技术,铜导线兼容之光阻去除技术、低介电常数材料兼容之光阻去除技术、铜污染去除技术等。
经过黄光定义出我们所需要的电路图,把不要的部份去除掉,此去除的 步骤就称之为蚀刻,因为它好像雕刻,一刀一刀的削去不必要不必要的木屑,完成作品,期间又利用酸液来腐蚀的,所以叫做「蚀刻区」。
湿式蚀刻: 酸碱溶液(化学方式) 选择性高等向蚀刻
1. Through-put 高
2. 设备价格低
3. 溶液更新频率<=>成本
4. 溶液本身的污染
优点
1.(through-put)高
2.设备价格低
3.溶液更新频率<->成本
4.溶液本身的污染
干式蚀刻: 电浆蚀刻(Plasma Etching),活性离子蚀刻(R I E)(物理方式)
选择性低非等向蚀刻撞击损伤(damages)à负面影响:晶格排列因撞击而偏移
撞击 -> 能量传递 -> 活化能降低 -> 反应加速
蚀刻考虑因素:
1. 选择性(Selectivity) 3. 蚀刻速率(Etching Rate)
2. 等向性(Isotropy) 4. 芯片损伤(Damags)
金属蚀刻的最好方法?
蚀刻金属标牌方法之一,手工蚀刻:包括蚀刷、撩泼、摇床等三种方法。蚀刷则是用排笔将溶液放在金属板上来回刷蚀。撩泼是使用水勺子将溶液不断地灌向金属板表面,以此进行蚀刻。而摇床是做一个下面有弧度的塑料槽,再倒入蚀刻液,放之金属板上,手工操动槽的一边,使金属板上的融液来回流动。
蚀刻金属标牌方法之二,用泼溅式蚀刻机蚀刻:用水车式叶轮,将蚀刻溶液不断泼向金属板,进行蚀刻。
蚀刻金属标牌方法之三,用搅拌式蚀刻机进行蚀刻:用一个大染缸的中间装一个带叶片的立轴,制作成一个搅拌机,将蚀刻液不停搅拌,金属板放至大染缸边上,进行蚀刻。
蚀刻金属标牌方法之四,用喷淋式蚀刻机蚀刻:用几个喷水头至上而下喷淋蚀刻液,金属板放在下面传送带上向前送,掌控好速度,出来后即蚀刻完毕。
蚀刻金属标牌方法之五,用电解蚀刻机蚀刻:把要蚀刻的金属板接近电源的正极,放平后把喷淋器接口接在电源的负极,喷出的盐水为导电液,进行点解,从而达到蚀刻的目的。
蚀刻加工工艺分哪些步骤?
五金蚀刻工艺流程:
1.前处理–喷油(涂油)–曝光–显影–补油–蚀刻–脱膜(清洗)–包装2.前处理–喷油或电泳–镭射–补油–蚀刻–脱膜(清洗)–包装
蚀刻工艺的流程?
蚀刻的工艺流程是:
1. 检验
首先对加工工件进行质检,提出不良品,提高良率;
2. 清洁、喷油
对工件材料进行静电除尘之后将干净的工件全部喷涂感光油,为感光做好准备;
3. 感光显影
将菲林试剂涂到工件上完成曝光,之后用显影剂将曝光的地方保留,腐蚀掉未曝光部分形成蚀刻图案;
4. 封油
封油就是对机器喷油中的盲区或者喷不到的位置进行人工补油,确保整个工件都被覆盖掉。之后再进行烘干;
5. 蚀刻
清洗、蚀刻是整个生产流程中最关键的一部,是将工件通过化学溶液的方法把经过爆光显影后外露的部位腐蚀掉,形成设计图案。之后清洗多余的油漆和其他试剂;
6. 质检
加工完成的工件要具备出货条件还需要经过严格的质检剔除不良品。
蚀刻工艺?
蚀刻(etching)是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。蚀刻技术可以分为湿蚀刻(wet etching)和干蚀刻(dry etching)两类。它可通过曝光制版、显影后,将要蚀刻区域的保护膜去除,在蚀刻时接触化学溶液,达到溶解腐蚀的作用,形成凹凸或者镂空成型的效果。
最早可用来制造铜版、锌版等印刷凹凸版,也广泛地被使用于减轻重量(Weight Reduction)仪器镶板,铭牌及传统加工法难以加工之薄形工件等的加工;经过不断改良和工艺设备发展,亦可以用于航空、机械、化学工业中电子薄片零件精密蚀刻产品的加工,特别在半导体制程上,蚀刻更是不可或缺的技术。
工艺流程:
1、来料检验当接到客户需要加工的工件时,首先我们要经过检查,也就是我们目前IQC工序所要做的工作,把接到客户的加工工件抹干净,然X行仔细检验,把来料中存在的不良品剔除出来,保证投入的产品是良品。
2、静电除尘、喷感光油、检查当来料加工的工件经过IQC检验合格后,就交给下一道工序:喷感光油,但在喷感光油前一定要进行静电除尘,因为产品在生产过程和我们抹试的过程中,不同程度上会存在静电,而静电是可以吸付灰尘的,所以必须经过静电除尘,把静电去除后灰尘才不会吸付在产品上面,完成静电除后就进行下一步工作:喷感光油,喷感受光油的作用主要是为下一道工序感光(爆光)做好准备,将产品前后都喷上感光油,完成喷油工作后,必须对产品进行仔细检查,检查的目的是产品在喷油过程中有没有喷到油、有没有存留油渣等不良现象出现,当产品检查OK后就要流入下一个工序:感光(爆光)。
3、感光、显影 感光(爆光)是将菲林放在已经喷了感光油的产品上面,主要的目的是通过爆光让菲林上的图案在产品上形成,感光(爆光)过程中要特别注意夹具一定要放好,菲林不能歪斜,否则产品图案就会出现歪斜现象,从而产生不良品,而菲林也要定期检查,不能出现折叠现象,否则也会出现不良品。感光(爆光)完成后就要进行下一步工作:显影;显影的目的是通过显影药水将未爆光的地方冲走,经过爆光的地方固化,形成蚀刻图案,经过显影后质检员对产品进行检查,把显影不到的地方或图案不良的产品挑选出来,良品则进入下一道工序:封油。
4、封油 所谓封油就是将产品在喷油过程中产品边缘的位置、喷不到油的地方进行人工补油,补油过程中产品的金属部位不可有外露现象,否则经过蚀刻后将会产生不良品,补油完成后再对产品进行烘干,烘干完成后对产品进行检查,检查OK后才可以放入下一道工序:蚀刻。
5、蚀刻、清洗 蚀刻是整个生产流程的关键工序,主要是将产品通过化学溶液的化学作用将产品经过爆光显影后外露的不锈钢部位进行腐蚀,从而形成我们想要的图案,蚀刻工作完成后对产品进行清洗,将多余的油漆清洗掉,然后经过慢拉机等的清洗设备完成产品的加工过程。
6、出货检验 经过蚀刻清洗工序完成后的产品即是我们想要的产品,但还要进行FQC最终检验,将生产过程中的不良品剔除出来后才可以交成品仓库安排出货。